Spray Coater - Système de vaporisation pour dépôt de couches minces

Description

Déposition de nano/microparticules en suspension ou de polymères (résines, adhésifs, etc.) par brumisation.

Marque et modèle

Ultrasonic Systems - Prism BT Benchtop

Spécifications techniques

• Brumisation par sonde à ultrasons à 35 kHz
• Taille de point : 3 mm à 25 mm
• Déplacement 3 axes de la tête de dépôt
• Surface maximale de dépôt : 150 mm x 150 mm
• Chambre de dépôt isolée et ventilée
• Possibilité de chauffer le substrat, température maximale : 250°C
• Possibilité de déposer des matériaux conformables
• Piloté par PC, recettes définies par l’usager et permettant plusieurs centaines d’étapes.

Exemples de procédés disponibles

• Déposition de films de nanoparticules (nanotubes de carbone, C60, nanofils de silicium, etc.) à partir de suspensions
• Déposition de photorésine ou d’électrorésine