Evaporateur à canon d'électrons Edwards

Description

Déposition de couches minces

Marque et modèle

Edwards - Auto 306

Spécifications techniques

• Carrousel à 4 creusets (matériaux disponibles : Al, AlSi, Au, Cr, Ge, Ni, Permalloy, Si, Ti) permettant de réaliser des dépôts multicouches sans avoir à casser le vide
• Porte-échantillon rotatif
• Moniteur d'épaisseur avec résolution de 0.1 nm
• Uniformité du dépôt : meilleure que 5% sur 3 pouces pour Al
• Possibilité de nettoyage du substrat in-situ au plasma à l'argon

Exemples de procédés disponibles

• Métallisations de surface
• Dépôt de multicouches métalliques pour réalisation de contacts ohmiques sur semiconducteurs et hétérostructures