Salles propres

Chercheur responsable : Denis Morris

Téléphone : (819) 821-8000, poste 61028

Les salles propres offrent le milieu adéquat pour préparer les échantillons.  La pression positive du local et le contrôle des poussières dans le sas d’entrée assurent la propreté des lieux, d’où leur nom. On y réalise les opérations nécessaires pour déposer des contacts sur les échantillons : nettoyage, attaque chimique, évaporation de couches métalliques, mesure d’épaisseur du dépôt, lithographie et microsoudure. Les membres des équipes de recherche en physique et de certaines en génie électrique, en particulier les étudiants aux cycles supérieurs et les stagiaires, y effectuent leurs travaux sous la supervision des techniciens.

Personnel responsable du fonctionnement

Équipements

  • Un système d'évaporation sous vide conventionnel (à chauffage de creuset par effet Joule).
  • Un système d'évaporation sous vide à canon à électrons, muni d'un carrousel pouvant recevoir quatre creusets.  Ce système permet le dépôt de séquences de couches minces de métaux différents.  La plupart des métaux ou alliages peuvent être déposés.
  • Un système de déposition multiple Intelvac (canon à électrons, pulvérisation cathodique avec cible de 2", gravure plasma Ar, O2).
  • Un système de gravure par faisceau d'ions (Ar) Intelvac avec SIMS (spectroscopie de masse des ions secondaires) intégré permettant de connaître le matériau gravé.
  • Deux hottes à écoulement laminaire, utilisées pour les opérations de nettoyage, d'attaques chimiques, etc.
  • Un système de production d'eau désionisée;
  • Un profilomètre (Tencor Instruments, alpha-step 200) utilisé pour la mesure d'épaisseur de couches minces avec une précision d'environ 1 nanomètre.
  • Une microsoudeuse à chauffage par ultrasons (Kulicke and Soffa, modèle 4124) pour la soudure de fils d'or sur les échantillons.
  • Un système de nettoyage plasma O2 de type barrel etcher.
  • Un microscope optique binoculaire avec caméra et capture d'image sur ordinateur.