Micro-ingénierie, microfabrication et MEMS

Microcapteurs pour l'aérospatiale et le biomédical

Chercheur

Martin Brouillette

Intérêt et problématique

La miniaturisation des systèmes permet d'entrevoir de nouvelles classes de capteurs se caractérisant par leur faible encombrement, leur réponse en fréquence élevée, leur degré d'intégration et leur coût réduit, plus spécialement pour des applications dans les domaines aéronautique, spatial, biologique et médical. Ces nouveaux capteurs peuvent être créés à partir d'une intégration de dispositifs électroniques, mécaniques et optiques.

Objectifs

Selon les besoins actuels et futurs du marché, concevoir et fabriquer des nouveaux capteurs pour des applications spécifiques.

Projets de recherche en cours et envisagés

• Microcapteurs pour environnement à haute température: Ce projet vise la conception de capteurs miniaturisés pour des applications dans un environnement à haute température. En particulier, nous avons breveté une famille de capteurs électroniques actifs dont la transduction s'effectue dans le domaine fréquentiel, ce qui permet le multiplexage d'un grand nombre de capteurs sur la même paire de fils. Ces capteurs, de température ou de pression, qui fabriqués à partir d'une technologie de carbure de silicium, sont particulièrement adaptés à l'environnement chaud des turbines à gaz et des moteurs à combustion interne.
• Réseaux de microcapteurs de pression: Ce projet vise la conception de capteurs miniaturisés permettant la mesure de distribution de pression avec une grande résolution spatiale et temporelle. Ces capteurs piézo-électriques sont fabriqués en salle blanche. Ces capteurs, sont particulièrement adaptés à linstrumentation des tubes à chocs et des turbines à gaz.
• Microcapteurs d'espèces gazeuses en solution: Plusieurs conditions médicales requièrent la mesure de la concentration d'espèces gazeuses en solution dans divers fluides corporels. Nous développons ces capteurs en intégrant un dispositif de séparation du gaz du liquide avec des techniques de spectroscopie par absorption, et ceci dans un volume inférieur à 1 millimètre cube.

Renseignements

Chercheur: Martin Brouillette